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4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運機器人

型號： AHY系列

●高可靠真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境

●電機直接驅(qū)動機器人運動，提升運行可靠性

●高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度

●采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制

●同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
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●電機直接驅(qū)動機器人運動，提升運行可靠性

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●同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）

4軸真空直驅(qū)雙臂B型晶圓搬運機器人

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2024 - 09 - 03
價格： AHY系列
●高可靠真空隔離，從容應(yīng)對高真空環(huán)境●電機直接驅(qū)動機器人運動，提升運行可靠性●高強度高剛性鋼帶傳動，實現(xiàn)手臂高傳動精度●采用閉環(huán)伺服控制，實現(xiàn)高精度位置控制●同時實現(xiàn)雙工位交換晶圓動作（Swap）
2024 - 09 - 03
價格： AHY系列
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2024 - 09 - 03
價格： AHY系列
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